Поклонский Н.А. и др. Физика электрического контакта металл/полупроводник

Учебное пособие по спецпрактикуму "Физика полупроводниковых приборов". — Минск: БГУ, 2003. — 52 с. — ISBN 985-485-069-2.Рассмотрены электронные состояния и процессы на границе раздела металл/полупроводник (барьера Шоттки). Изложен метод вольт-фарадных характеристик. Приведены элементы технологии изготовления диодов Шоттки. Пособие предназначено для студентов физических, химических и технических факультетов университетов и других вузов.Предисловие.
Введение.
Контактная разность потенциалов металлов.
Контакты металл/полупроводник.
Барьер Шоттки.
Элементы технологии изготовления диода Шоттки.
Вольт-фарадная характеристика барьера Шоттки.
Экспериментальная установка и алгоритм выполнения измерений.
Задание и отчёт по лабораторной работе.
Контрольные вопросы.
Список рекомендуемой литературы.
Паспорт эксперимента.
Приложения А — Д.
Элементы зонной теории.
Формула Мотта-Шоттки: дифференциальная ёмкость кристаллического полупроводника (режим эффекта поля).
Кремниевый pn-переход с плавно-резким распределением примесей.
Поверхность полупроводника.
Квазиуровень Ферми.