ПНИПУ. Пермь, 2014. 13 стр. Введение Теоретический обзор Типы зондов и методы их изготовления Пленочные кантилеверы Кремниевые кантилеверы Кантилеверы с вискерами на остриях Исследовательская часть Постановка задачи Методика определения отклонения лазерного луча Начальные данные Результаты Заключение Список литературы
Комментарии