Серушкин С.В. Моделирование взаимодействия плазма-стенка в термоядерных установках с помощью магнетронной распылительной системы

Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук:
1.1.9. Механика жидкости, газа и плазмы. — Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет). Москва, 2025. — 155 с.
Научный руководитель: д.ф.-м.н. Вуколов К.Ю.Цель исследования. Моделирование процессов взаимодействия плазмы со стенкой применительно к элементам конструкции термоядерных установок и создание методов расчетного и экспериментального определения параметров плазмы моделирующего устройства – магнетронной распылительной системы.Список основных обозначений.
Введение.
Результаты исследований в области взаимодействия плазмы с конструктивными и диагностическими элементами термоядерных установок.
Корпускулярные потоки и тепловые нагрузки на внутрикамерные элементы, характерные для номинальных рабочих режимов токамаков.
Экспериментальные исследования влияния плазмы на элементы диагностических систем термоядерных установок.
Исследования в области взаимодействия плазма-стенка для условий в термоядерных установках на моделирующих экспериментальных стендах...
Применение магнетронных распылительных систем для моделирования взаимодействия плазмы с элементами конструкции ТЯУ.
Физико-математическое моделирование процессов в планарной цилиндрической магнетронной распылительной системе.
Основные принципы работы и конструкция МРС.
Физические процессы в магнетронной распылительной системе и их математическое описание.
Расчет движения заряженных частиц в магнетронном разряде с учетом неупругих столкновений.
Математическая модель взаимодействия плазмы с мишенями МРС и осаждения распыленного материала на экспериментальные подложки.
Исследование пространственных распределений параметров магнетронной плазмы методами оптической эмиссионной спектроскопии.
Диагностический комплекс для исследования пространственных распределений параметров плазмы магнетронного разряда.
Применение преобразования Абеля для получения радиальных распределений излучательной способности плазмы магнетронного разряда.
Столкновительно-излучательная модель аргоновой плазмы.
Результаты определения параметров аргоновой плазмы магнетронного разряда.
Влияние изотопов водорода на формирование тонких пленок при распылении вольфрама в дейтериевой плазме магнетронного разряда
Эксперименты по осаждению вольфрамовых пленок на подложки с
применением магнетронного разряда в среде дейтерия.
Анализ содержания изотопов водорода в экспериментальных образцах с осажденным вольфрамом.
Анализ морфологии поверхности вольфрамовых пленок. Объяснение влияния дейтерия на процессы осаждения вольфрама.
Основные выводы и заключение.
Список литературы.
Приложение.