Семенець В.В., Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології

Підручник. — Х.: Компанія СМІТ, 2011. — 416 с.Викладено принципи створення МЕМС та основні відомості про технології їх виробництва, що дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли та деталі, а та кож електронні системи обробки інформації та системи керування. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, електромеханічні аналогії, математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків. Наведені відомості про конструктивні та технологічні рішення, про інструментальні методи вивчення нанооб’єктів, технологічне обладнання.
Для студентів вузів за спеціальностями, пов’язаними з розробкою, ви робництвом та експлуатацією нової техніки. Може бути корисним магістрантам, аспірантам, а та кож фахівцям промисловості.