Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р. Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны

Учебное пособие. — М.: МИСиС, 2012. — 97 с. — ISBN 978-5-87623-572-5.посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургической секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника».Предисловие.
Список основных обозначений.
Введение.
Физика взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом.
Параметры электронного потока.
Энергетика взаимодействия электронов с веществом.
Основные эффекты взаимодействия электронов с твердым телом.
Пробег электронов в твердом теле.
Основы теории электронно-лучевого нагрева.
Взаимодействие электронного луча с веществом.
Распределение энергии электронного луча в рабочей камере.
Распределение энергии электронов в веществе.
Выделение и распространение тепла в веществе.
Воздействие высокоэнергетических электронов на тонкопленочные гетерокомпозиции.
Прохождение электронов через тонкие пленки.
Радиационные образования центров в гетеросруктурах.
Изменение электрофизических параметров гетероструктур металл—диэлектрик—полупроводник.
Заключение.
Библиографический список.