Якименко Ю.І., Заячук Д.М., Орлов А.Т. Основи наноелектроніки. Книга 2

Підручник. — Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2016. — 343 с.Викладено матеріали, присвячені наноелектронним матеріалам і нанотехнологіям, а саме: нанорозмірним і пористим структурам кремнію і його композитам; методам досліджень наноструктур і наноматеріалів; газофазной і молекулярно-пучкової епітаксії та піролізу; формуванню молекулярних пучків; легуванню і контролю параметрів наноплівок; нанолітографії і технологічним способам отримання квантових ниток і точок з вуглецевих наноструктур; одержанню фулеренів та їхніх похідних; алмазоподібним плівкам; особливостям отримання графену. Після кожного розділу наведені висновки, контрольні запитання та завдання. Підручник призначений для широкого круга читачів – від фахівців до викладачів та студентів вищих навчальних закладів електронних напрямків навчання.