Сахаров Н.В., Фаддеев М.А. Растровая электронная микроскопия

Учебное пособие. — Нижний Новгород: Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (ННГУ), 2020. — 96 с.Учебное пособие содержит последовательное изложение физических основ растровой электронной микроскопии, принципиального устройства растрового электронного микроскопа и его функциональных элементов. Часть учебного пособия посвящена описанию микроскопа Jeol JSM-6490 и инструкции по его использованию в научных исследованиях. Важная дополнительная информация оформлена в виде отдельных приложений.
Данное учебное пособие предназначено для студентов физических факультетов, специализирующихся в области физики конденсированного состояния и физического материаловедения.Процессы взаимодействия электронов с атомами
Физические принципы растровой электронной микроскопии
Общая схема устройства растрового электронного микроскопа
Построение изображения в РЭМ
Общее описание растрового электронного микроскопа Jeol JSM-6490
Описание системы управления микроскопом Jeol JSM-6490
Порядок действий при работе с микроскопом Jeol JSM-6490
Приложения
Пробоподготовка образцов
Физические процессы в детекторах электронов
Катоды – источники электронов
Галерея изображений, полученных методом сканирующей электронной микроскопии