Багмут А.Г. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением

Монография. — Харьков: НТУ "ХПІ", 2014. — 304 с.Монография посвящена результатам электронно-микроскопических исследований структуры пленок и закономерностям ее формирования при дискретном осаждении на подложку пароплазменных потоков, сформированных импульсным лазерным распылением металлических и полупроводниковых мишеней. Также приведены результаты исследований структурных и фазовых превращений в пленках при отжиге и естественном старении.
Предназначено для студентов, аспирантов и преподавателей физико-технических и материаловедческих специальностей.Условные обозначения.
Введение.
Факторы, определяющие зарождение, рост и фазовое состояние конденсированного слоя при лазерном распылении вещества.
Формирование и транспортировка к подложке лазерной эрозионной плазмы.
Энергетический спектр и зарядовое состояние микрочастиц.
Взаимодействие пароплазменного потока с подложкой.
Фазовая и структурная неравновесность лазерных конденсатов.
Влияние газовой среды на структурообразование в пленках.
Тонкопленочные слои, осажденные импульсным лазерным распылением.
Структурные и морфологические особенности пленок формируемых лазерным испарением благородных металлов.
Осаждение пленок и анализ их структуры.
Зародышеобразование и начальные стадии роста.
Стадия сплошности.
Структура и морфологические особенности пленки, обусловленные взаимодействием светового луча с подложкой.
Размерные эффекты и неравновесность лазерных конденсатов Au.
Дифракционные эффекты, связанные с поверхностью эпитаксиальных пленок.
Термическое расширение и поверхность пленок (001) Au.
Субструктурная неравновесность, обусловленная поверхностью пленки.
Формирование пленочных гомо- и гетероструктур при лазерно-термических методах соосаждения.
Структурообразование при лазерно-термическом соосаждении.
Рекристаллизация и морфологические изменения при отжиге.
Фазообразование в лазерных конденсатах Al – Au.
Ориентированная кристаллизация и дифракционные эффекты в системе Sb2S3 (аморфный) – (100) Au.
Моделирование ориентационных соотношений.
Особенности структурообразования при лазерном испарении золота в газовой среде.
Аморфная среда как состояние вещества с высокой степенью дисперсности.
Влияние газовой среды на структуру лазерных конденсатов.
Электронография аморфизированных конденсатов золота.
Захват газовых примесей и изменение физических свойств.
Структурные изменения при отжиге аморфизированных пленок.
Образование и кристаллизация аморфизированных конденсатов.
Структура и фазовые превращения в пленках, осажденных лазерным испарением переходных металлов.
Конденсаты кобальта.
Конденсаты железа.
Конденсаты хрома.
Кристаллизация лазерных конденсатов железа и хрома.
Диаграмма структурных состояний.
Пленки элементов подгрупп IVа – VIа периодической системы.
Подгруппа VIa: селен и теллур.
Превращения при отжиге лазерных конденсатов Se и Se-O.
Лазерные конденсаты теллура.
Лазерные конденсаты сурьмы.
Взаимосвязь структуры с положением элемента в периодической таблице Менделеева.
Лазерное распыление Ni и составных мишеней Ni-Pd.
Структурные и фазовые состояния, реализуемые при распылении Ni.
Объемные изменения при отжиге пленок Ni.
Ориентационные соотношения при росте и рекристаллизации пленок Ni.
Фазовые превращения в пленках, осажденных совместным распылением Ni и Pd.
Магнитное состояние пленок Ni-Pd переменного состава.
Кристаллизация аморфных лазерных конденсатов.
Структура и морфология кристаллов, растущих в аморфных пленках Cr2O3 и V2O.
Кристаллизация пленок HfO.
Классификация реакций кристаллизации аморфных пленок.
Слоевая полиморфная кристаллизация и принцип Гюйгенса.
Список литературы.