Кольцов С.И., Громов В.К. Спектроскопическая эллипсометрия в исследовании поверхности твердых веществ

Л.: ЛТИ, 1988. — 80 с.Приводятся основные сведения из теории и практики эллипсометрического метода применительно к исследованию тонких слоев на поверхности твердых веществ. Рассмотрены методы решения прямой и обратной задачи эллипсометрия для многослойных систем. Изложены основы направленного синтеза на поверхности твердых веществ тонкослойных структур с заданным составом, строением и свойствами и особенности их контроля эллипсометрическим методом. На примере границы раздела кремний—диоксид кремния рассмотрены возможности использования спектроскопической эллипсометрии в исследовании поверхности твердых веществ.
Для студентов старших курсов и аспирантов, специализирующихся в области физики и химии поверхности, микроэлектроники и оптики тонких покрытий.