Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Gad-el-Hak M. The MEMS Handbook

  • Файл формата pdf
  • размером 66,28 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Отредактирован
Gad-el-Hak M. The MEMS Handbook
CRC Press, 2002, 1332 p.
Справочник по MEMS. Язык - английский.
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) относятся к приборам с типичными характеристичными размерами от 1 мкм до 1 мм, в которых скомбинированы электрические и механические компоненты, и которые изготовлены методами групповых обработок, наподобие присущих производству интегральных схем. Существующие технологии производства для МЭМС включают поверхностную кремниевую микрообработку, микрообработку объёмного кремния, литографию, электролитическое осаждение и пластическое формование, электроискровую обработку. Мультидисциплинарная область МЭМС показала скачкообразное развитие за время последнего десятилетия. К примеру, разработаны и изготовлены электростатические, магнитные, электромагнитные, пневматические и термические исполнительные механизмы, двигатели, клапаны, консоли, диафрагмы и пинцеты менее 100 мкм размеров. Они использовались как микродатчики давления, температуры, массового расхода, скорости, звука и состава химических реактивов, как исполнительные механизмы для линейных и угловых перемещений, а также как простые компоненты для сложных систем, таких как роботы, микротепловые двигатели и микротепловые насосы.
Этот справочник охватывает некоторые аспекты микроэлектромеханических систем, или в более широком смысле, как искусство и науку электромеханической миниатюризации. При этом рассматриваются принципы действия и конструкция МЭМС, их производство и применение.
Книга разделена на четыре раздела.
В первом разделе рассматриваются предпосылки и основы МЭМС, включая масштабирование микромеханических приборов, механические свойства материалов для МЭМС, моделирование МЭМС, физику тонких жидкостных слоев, пузырьково-капельный перенос в микроканалах, основы теории управления, управление потоками для распределенных конструкций.
Во втором разделе рассматривается конструирование и производство микроприборов, в том числе материалы для электромеханических систем, изготовление МЭМС, LIGA и другие методы переноса изображений, электрохимические и рентгеновские методы изготовления, изготовление и характеристика МЭМС на основе монокристаллического карбида кремния, глубокое реактивно-ионное травление для объемной микрообработки карбида кремния, микроизготовление химических сенсоров для аэрокосмических применений, сборка МЭМС приборов для жестких условий эксплуатации.
Третий раздел посвящен обзору применений МЭМС микродатчиков и микроисполнительных механизмов, таких как инерциальные датчики, микроминиатюрные датчики давления, датчики и исполнительные механизмы для турбулентных потоков, механизмы с поверхностной микрообработкой, микророботы, вакуумные микронасосы, микрокапельные генераторы, тепловые микротрубки и микрораспылители, микроканальные радиаторы, контроллеры потока.
Четвертый раздел рассматривает отдельные аспекты будущего МЭМС: реактивное управление для уменьшения поверхностного трения, к МЭМС автономного контроля свободнонаправленных потоков, технологии изготовления наноэлектромеханических систем.
36 глав, входящих в состав этих разделов, написаны авторитетными специалистами в области МЭМС. Справочник написан с учетом максимального понимания широкой аудиторией читателей, имеющей инженерную или научную подготовку.
Данный справочник по МЭМС предназначен для научных работников и практикующих инженеров, специализирующихся в разработке, производстве и применении МЭМС, также может быть полезен аспирантам и студентам старших курсов соответствующего профиля, только начинающим осваивать искусство и науку электромеханической микроминиатюризации.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация