Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Пресс Ф.П. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

  • Файл формата djvu
  • размером 992,31 КБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Отредактирован
Пресс Ф.П. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
М.: Сов. радио, 1978, 96 с.
В книге, написанной известным отечественным специалистом, рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, практические приемы фотолитографии и применяемое оборудование.
Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинтересовать возможности и перспективы развития фотолитографии.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация