Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Алехин А.П. Физико-химические основы микро - и наноэлектроники

  • Файл формата pdf
  • размером 4,91 МБ
  • Добавлен пользователем
  • Описание отредактировано
Алехин А.П. Физико-химические основы микро - и наноэлектроники
Учеб. пособие. — М.: Можайский полиграфический комбинат оформление, 2011. — 184 с. — ISBN: 978-5-8493-0202-7
Данное учебное пособие посвящено физическим, химическим и технологическим основам микро- и наноэлектроники. Подробно рассмотрены современные технологические процессы, используемые при создании электронных устройств: литография, травление, ионная имплантация, нанесение пленок диэлектриков, металлизация. Для каждого из процессов приводится физическое обоснование, описывается технологическое оборудование, рассказывается о принципиальных возможностях и ограничениях метода.
Для понимания некоторых процессов микроэлектронной технологии требуется знание физико-химических теорий – теории зародыше образования, остовной теории. Их изучению посвящены отдельные главы пособия.
Для студентов старших курсов и аспирантов.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Бубенчиков С.А., Газиева Е.Э. и др. Современные методы исследования материалов и нанотехнологий

  • pdf
Учебное пособие (Лабораторный практикум) / М.А. Бубенчиков, Е.Э. Газиева, А.О. Гафуров, Г.С. Глушков, Д.С. Жданов, Д.В. Саньков, В.И. Сырямкин, С.В. Шидловский, А.В. Юрченко; Под ред. д.т.н., профессора В.И. Сырямкина. — Томск: Изд-во Том. ун-та, 2010. — 366 с. Учебное пособие посвящено актуальным методам и средствам исследования материалов и нанотехнологий и ориентировано на...
  • 9,53 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Голишников А.А., Путря М.Г. Плазменные технологии в наноэлектронике

  • pdf
М.: МИЭТ, 2011. — 172 с. — ISBN: 978-5-7256-0656-0 Рассмотрены применение плазменных процессов в производстве изделий микро- и наноэлектроники, технологические проблемы их использования при изготовлении ИС, тенденции развития плазменной технологии. Представлены современные системы высокоплотной плазмы. Приведены основные понятия процесса плазменного травления и его...
  • 13,55 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В. Технология кремниевой наноэлектроники

  • pdf
Учебное пособие. — Томск: В-Спектр, 2011. — 263 с. В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и...
  • 3,69 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Достанко А.П. и др. Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро - и наноэлектроники

  • pdf
Монография. — Минск: Бестпринт, 2011. — 210 с. Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области теории, технологии и оборудования для электрофизических методов обработки материалов изделий микро- и наноэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов...
  • 10,73 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Кузнецов Г.Д., Симакин С.Б., Демченкова Д.Н. Микро - и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

  • djvu
Курс лекций. - Москва, МИСиС, 2008. - 191 с. В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного...
  • 5,58 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Наверх