Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Ефремов А.М., Светцов В.И., Рыбкин В.В. Вакуумно-плазменные процессы и технологии

  • Файл формата pdf
  • размером 4,85 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Отредактирован
Ефремов А.М., Светцов В.И., Рыбкин В.В. Вакуумно-плазменные процессы и технологии
Учебное пособие. ГОУВПО Иван. гос. хим. -технол. ун-т. Иваново. 2006. 260 с.
Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация