Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Вавилов В.Д., Кругликов П.Ф., Толочков Ю.А. Интегральные датчики давления. Конструкция и технология

  • Файл формата djvu
  • размером 744,45 КБ
  • Добавлен пользователем
  • Отредактирован
Вавилов В.Д., Кругликов П.Ф., Толочков Ю.А. Интегральные датчики давления. Конструкция и технология
Учебное пособие. — Москва: МАИ, 2001. — 48 с.
Рассматриваются конструкции интегральных датчиков, включающие микромеханические кремниевые чувствительные элементы и микроэлектронные преобразователи деформации в электрический сигнал. Приведены основы методики расчета интегральных датчиков давления. Подробно рассмотрены специфические технологические процессы формообразования кремниевых упругих чувствительных элементов, создания на их поверхности интегральных электронных структур, процессы сборки и контроля интегральных датчиков давления.
Работа предназначена для обучения студентов приборостроительных специальностей факультета "Системы управления, информатика, электроэнергетика летательных аппаратов" и может использоваться для курсового и дипломного проектирования. Также будет полезна аспирантам и инженерам, углубляющим свои знания в области современного приборостроения.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация