Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 8. Мартынов В.В., Базарова Т.Е. Литографические процессы

  • Файл формата djvu
  • размером 1,30 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Отредактирован
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 8. Мартынов В.В., Базарова Т.Е. Литографические процессы
В 10-и книгах. — Москва: Высшая школа, 1990. — 128 с.: ил.
В книге описаны современные методы литографии (фотолитография, рентгенолитография, электронолитография и ионолитография) и изготовления шаблонов при производстве полупроводниковых приборов и ИМС. Рассмотрено используемое автоматическое оборудование. Уделено внимание контролю размеров элементов изделий микроэлектроники. Приведены основные требования электронной гигиены и техники безопасности.
Введение
Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Назначение и методы литографии.
Контактная фотолитография.
Позитивные и негативные фоторезисты.
Основные параметры фоторезистов.
Обработка поверхности подложек.
Нанесение и сушка слоя фоторезиста.
Совмещение и экспонирование.
Проявление слоя фоторезиста. Сушка проявленного рельефа.
Химическая жидкостная обработка подложек.
Химическая’’сухая” обработка подложек.
Проекционная фотолитография.
Оптические эффекты при фотолитографии.
Управление технологическим процессов фотолитографии.
Производство фотошаблонов
Основные сведения.
Система автоматизированного проектирования топологии ИМС.
Методы генерации изображения.
Маршруты изготовления фотошаблонов.
Мультипликация.
Копирование фотошаблонов.
Основные параметры и контроль фотошаблонов.
Эксплуатация фотошаблонов.
Перспективные методы литографии
Основные сведения.
Электронолитография.
Электронно-лучевая установка экспонирования.
Рентгенолитография.
Ионолитография.
Контроль размеров элементов изображения
Основные сведения.
Визуальный контроль.
Фотоэлектрический контроль.
Дифракционный контроль.
Электронная гигиена
Техника безопасности
Заключение
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация