ASTM F 816-83. Standard Test Method for Combined Fine and Gross Leaks for Large Hybrid Microcircuit Packages

American Society for Testing and Materials, 1983. - 6 pp.
This test method applies to hermetic package leak testing to detect leaks of a broad spectrum in size with a mimimum detection limit equal to the sensitivity of the helium mass spectrometer equipment used in the test.Настоящий стандарт относится к области определения вакуумных течей в герметичных корпусах, и представляет метод определения вакуумных течей в широком диапазоне величин с порогом чувствительности, равным чувствительности используемого при тестировании масс-спектрометрического гелиевого течеискателя.
Данный стандартный метод обеспечивает комбинированный поиск больших и малых течей в крупных корпусах гибридных микросхем и микросборок (как правило, имеющих объем более 0,6 куб. см).